质料特征
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 生长方法 | CZ |
| 晶体晶向 | ＜100＞±3° |
| 导电类型 | N型 |
| 位错密度/cm? | ≤500 |
| 项目 | 生长方法 | |
| 规格 | CZ | |
| 项目 | 晶体晶向 | |
| 规格 | ＜100＞±3° | |
| 项目 | 导电类型 | |
| 规格 | N型 | |
| 项目 | 位错密度/cm? | |
| 规格 | ≤500 | |
电性能
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 氧含量 | ≤14ppma |
| 碳含量 | ≤1ppma |
| 电阻率 | 0.3-2.1Ω.cm |
| 少子寿命 | ≥500us |
| 项目 | 氧含量 | |
| 规格 | ≤14ppma | |
| 项目 | 碳含量 | |
| 规格 | ≤1ppma | |
| 项目 | 电阻率 | |
| 规格 | 0.3-2.1Ω.cm | |
| 项目 | 少子寿命 | |
| 规格 | ≥500us | |